01460naa a2200193 a 450000100080000000500110000800800410001910000200006024500690008026000090014952008930015865300260105165300150107765300150109270000220110770000190112970000180114877301000116610695722010-05-07       2000    bl uuuu     u00u1 u    #d1 aESCOBEDO, J. F.  aTermopilhas de filmes finos a vácuo por evaporação de metais.  c2000  aDescreve-se um método de obtenção de termopilhas a vácuo usando processo fotolitográfico e evaporação de metais. Foram elaboradas termopilhas tipo preto/branco nas configurações estrela e disco-concêntrico, e tipo preta, ambas de bismuto/antimônio, depositados em substrato de vidro, acrílico, kapton e mylar. A avaliação foi determinada através da análise dos parâmetros: sensibilidade (Vm²/W), responsividade (V/W) e constante de tempo (s) em condições de campo. Os resultados mostraram que o desempenho das termopilhas é dependente do tipo de substrato, apresentando variações de 1,5s - 9,8s para a constante de tempo; 7,7 Vm²/W- 99,98 Vm²/W para sensibilidade e de 0,15V/W - 47,90 V/W para a responsividade. Sugestões para a otimização do método são apresentadas e discutidas em função dos problemas ainda existentes deste desenvolvimento tecnológico.  aEvaporação de metal  aFilme fino  aTermopilha1 aFRISINA, V. de A.1 aRICIERI, R. P.1 aCHAVES, M. A.  tRevista Brasileira de Agrometeorologia, Santa Maria, RSgv. 8, n. 1, p. 95-104, jan./jul. 2000.