01460naa a2200193 a 450000100080000000500110000800800410001910000200006024500690008026000090014952008930015865300260105165300150107765300150109270000220110770000190112970000180114877301000116610695722010-05-07       2000    bl uuuu     u00u1 u    #d1 aESCOBEDO, J. F.  aTermopilhas de filmes finos a v??cuo por evapora????o de metais.  c2000  aDescreve-se um m??todo de obten????o de termopilhas a v??cuo usando processo fotolitogr??fico e evapora????o de metais. Foram elaboradas termopilhas tipo preto/branco nas configura????es estrela e disco-conc??ntrico, e tipo preta, ambas de bismuto/antim??nio, depositados em substrato de vidro, acr??lico, kapton e mylar. A avalia????o foi determinada atrav??s da an??lise dos par??metros: sensibilidade (Vm??/W), responsividade (V/W) e constante de tempo (s) em condi????es de campo. Os resultados mostraram que o desempenho das termopilhas ?? dependente do tipo de substrato, apresentando varia????es de 1,5s - 9,8s para a constante de tempo; 7,7 Vm??/W- 99,98 Vm??/W para sensibilidade e de 0,15V/W - 47,90 V/W para a responsividade. Sugest??es para a otimiza????o do m??todo s??o apresentadas e discutidas em fun????o dos problemas ainda existentes deste desenvolvimento tecnol??gico.  aEvapora????o de metal  aFilme fino  aTermopilha1 aFRISINA, V. de A.1 aRICIERI, R. P.1 aCHAVES, M. A.  tRevista Brasileira de Agrometeorologia, Santa Maria, RSgv. 8, n. 1, p. 95-104, jan./jul. 2000.